O CL-SEM da Attolight oferece a aquisição simultânea de imagens de MEV, mapas hiperspectrais de CL e espectros ópticos com um amplo campo de visão e varredura rápida, sem comprometer a qualidade. Wafers de diâmetro menor ou substratos de formas diversas são carregados manualmente em suportes intermediários de 300 mm, posteriormente manipulados automaticamente pela ferramenta. O sistema Santis 300 oferece três modos distintos de aquisição: passo e repetição (S&R), modo de varredura contínua (AWpix), modo de varredura integrativa (FWbrush).