Säntis 300
Catodoluminescência. Aquisição simultânea de MEV, mapas hiperespectrais e espectros ópticos.
- Ferramenta para wafers de até 300 mm.
- Alto rendimento de CL-SEM.
- Aquisição simultânea de imagens de MEV e assinatura óptica.
- Detecção de bordas para posicionamento preciso do wafer (superior a 10 µm).
- Mapeamento automático e correção de curvatura do wafer.
O CL-SEM da Attolight oferece a aquisição simultânea de imagens de MEV, mapas hiperspectrais de CL e espectros ópticos com um amplo campo de visão e varredura rápida, sem comprometer a qualidade. Wafers de diâmetro menor ou substratos de formas diversas são carregados manualmente em suportes intermediários de 300 mm, posteriormente manipulados automaticamente pela ferramenta. O sistema Santis 300 oferece três modos distintos de aquisição: passo e repetição (S&R), modo de varredura contínua (AWpix), modo de varredura integrativa (FWbrush).
Talvez você se interesse por estes Equipamentos!
Espectrômetros Raman – Wasatch
Espectrômetros Raman Ampla variedade de comprimentos de onda. Formatos...
